產(chǎn)品詳細(xì)描述

_光掩膜

在半導(dǎo)體制造的整個(gè)流程中，其中一部分就是從版圖到晶圓（wafer）制造中間的一個(gè)過程，即光掩膜或稱光罩(mask)制造。這一部分是流程銜接的關(guān)鍵部分，是流程中造價(jià)最高的一部分，也是限制最小線寬的瓶頸之一。

應(yīng)用領(lǐng)域及種類　

光掩膜除了應(yīng)用于芯片制造外，還廣泛的應(yīng)用與像LCD，PCB等方面。常見的光掩膜的種類有四種，鉻版(chrome)、干版，凸版、液體凸版。主要分兩個(gè)組成部分，基板和不透光材料。基板通常是高純度，低反射率，低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃。鉻版的不透光層是通過濺射的方法鍍?cè)诓Ａ路胶窦s0.1um的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小，雖不易受損但有可能被玻璃所傷害。應(yīng)用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。干版涂附的乳膠，硬度小且易吸附灰塵，不過干版還有包膜和超微顆粒干版，其中后者可以應(yīng)用于芯片制造。(順便提一下，通常講的菲林即film，底片或膠片的意思，感光為微小晶體顆粒)。

在刻畫時(shí)，采用步進(jìn)機(jī)刻畫(stepper)，其中有電子束和激光之分，激光束直接在涂有鉻層的4-9“ 玻璃板上刻畫，邊緣起點(diǎn)5mm，與電子束相比，其弧形更逼真，線寬與間距更小。光掩膜有掩膜原版(reticle mask，也有稱為中間掩膜，reticle作為單位譯為光柵)，用步進(jìn)機(jī)重復(fù)將比例縮小到master maks上，應(yīng)用到實(shí)際曝光中的為工作掩膜(working mask)，工作掩膜由mastermask復(fù)制過來。

制造流程和檢測(cè)流程

1，數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換 將如GDSII版圖格式分層，運(yùn)算，格式轉(zhuǎn)換為設(shè)備所知的數(shù)據(jù)形式。(這一部分會(huì)產(chǎn)一些具體的描述)

2，圖形產(chǎn)生 通過電子束或激光進(jìn)行圖形曝光。

3，光阻顯影 曝光多余圖形，以便進(jìn)行蝕刻。

4，鉻層刻蝕 對(duì)鉻層進(jìn)行刻蝕，保留圖形。

5，去除光阻 去除多余光刻膠。

6，尺寸測(cè)量 測(cè)量關(guān)鍵尺寸和檢測(cè)圖形定位。

7，初始清洗 清洗并檢測(cè)作為準(zhǔn)備。

8，缺陷檢測(cè) 檢測(cè)針孔或殘余未蝕刻盡的圖形

9，缺陷補(bǔ)償 對(duì)缺陷進(jìn)行修補(bǔ)。

10，再次清洗 清洗為加蒙版作準(zhǔn)備

11，加附蒙版 蒙版(pellicle)加在主體之上，這防止灰塵的吸附及傷害。

12，最后檢查 對(duì)光掩膜作最后檢測(cè)工作，以確保光罩的正確。

光掩膜的基本檢查大體有：基板，名稱，版別，圖形，排列，膜層關(guān)系，傷痕，圖形邊緣，微小尺寸， 絕對(duì)尺寸，缺欠檢查等。

數(shù)據(jù)處理的工藝要求

對(duì)于數(shù)據(jù)處理主要來自于工藝上的要求，在圖形處理上有：

1，直接對(duì)應(yīng) 光掩膜直接對(duì)應(yīng)到版圖的一層，如金屬層。

2，邏輯運(yùn)算 光刻圖形可能由1層或多層版圖層邏輯運(yùn)算而來。比如定義pplus與nplus互補(bǔ)，如果只有pplus，nplus將由pplus進(jìn)行邏輯非的運(yùn)算得來。在實(shí)際處理中以反轉(zhuǎn)的形式實(shí)現(xiàn)。不過值得注意的是，在進(jìn)行某些邏輯運(yùn)算時(shí)，圖層的順序十分重要。與反轉(zhuǎn)運(yùn)算結(jié)合進(jìn)，運(yùn)算的先后順序也很重要。

3，圖形漲縮 即進(jìn)行size操作，比如gate處的注入層，從gate size放大而來。

完整的光掩膜圖形中，除了對(duì)應(yīng)電路的圖形外，還包括一些輔助圖形或測(cè)試圖形，常見的有：游標(biāo)，光刻對(duì)準(zhǔn)圖形，曝光量控制圖形，測(cè)試鍵圖形，光學(xué)對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)圖形，劃片槽圖形，和其他名稱，版別等LOGO。

一、用途及特點(diǎn)：蒸鍍掩膜板主要應(yīng)用于蒸發(fā)鍍膜遮擋用，傳統(tǒng)蒸鍍掩膜板一般都是采用開磨具沖壓成型，但是沖壓工藝比較粗糙，公差大，而且精度不高。對(duì)高精密的裝配要求用沖壓的工藝無法達(dá)到這樣的要求，卓力達(dá)生產(chǎn)的蒸鍍掩膜板精度高，采用的是化學(xué)蝕刻的工藝制作，蝕刻工藝解決了工業(yè)生產(chǎn)中對(duì)高精密零部件的要求，最小孔徑可以達(dá)到0.01mm，并且孔壁垂直，沒有任何毛刺；平面度保持在0.02mm以下，最小公差可做到+/-0.01mm，是目前國內(nèi)企業(yè)替代臺(tái)灣和日本生產(chǎn)技術(shù)的首選。
   二、生產(chǎn)能力：針對(duì)蒸鍍掩膜板樣品，卓力達(dá)配備有專業(yè)的樣品制作小組，一般樣品在2-3個(gè)工作日內(nèi)完；針對(duì)批量產(chǎn)品我司以強(qiáng)大的技術(shù)力量（高級(jí)研發(fā)工程師8人，工程師16人，技術(shù)員20人）和先進(jìn)以及高效的生產(chǎn)設(shè)備（進(jìn)口卷對(duì)卷曝光機(jī)/卷對(duì)卷涂布線/進(jìn)口蝕刻機(jī)）和專業(yè)的生產(chǎn)以及管理團(tuán)隊(duì)來保證產(chǎn)品的產(chǎn)能和質(zhì)量
   三、交貨方式：以安全，美觀，環(huán)保的卓力達(dá)統(tǒng)一紙箱捆包，國內(nèi)快遞巨頭順豐速運(yùn)24小時(shí)不間斷發(fā)貨，國內(nèi)快遞可在24小時(shí)內(nèi)到達(dá)。
   四、質(zhì)量保證以及售后服務(wù)承諾：所有蒸鍍掩膜板產(chǎn)品在出貨前均會(huì)經(jīng)過嚴(yán)格專業(yè)的品質(zhì)檢驗(yàn)，確保發(fā)貨到您手里的產(chǎn)品是合格產(chǎn)品。若客戶對(duì)我司的產(chǎn)品提出質(zhì)量異議，公司會(huì)在4小時(shí)內(nèi)作出處理意見，若需現(xiàn)場解決，我司將派出專業(yè)技術(shù)人員及品質(zhì)人員解決，不解決問題人員不撤離，對(duì)每次客戶的質(zhì)量問題及處理結(jié)果予以存檔，以做培訓(xùn)和案例分析。

    問：你們的蒸鍍掩膜板蝕刻工藝成熟么？能批量化大規(guī)模生產(chǎn)么？同行為什么價(jià)格會(huì)更具優(yōu)勢(shì)？ 
答：YES，YES，我們是具有十多年蝕刻加工經(jīng)驗(yàn)，有專業(yè)化的蝕刻技術(shù)團(tuán)隊(duì)。卓力達(dá)是最先加入PCMI蝕刻行業(yè)協(xié)會(huì)的公司之一，能隨時(shí)接收協(xié)會(huì)的技術(shù)指導(dǎo)，工藝成熟。進(jìn)口蝕刻生產(chǎn)線，大批量規(guī)模化生產(chǎn)，蝕刻自動(dòng)化，避免更多人員操作，相對(duì)于同行，我們價(jià)格競爭力高。

    問：和日本，美國蝕刻加工相比，你們?yōu)槭裁促u得更便宜？ 
答：國內(nèi)的優(yōu)勢(shì)在于轉(zhuǎn)變快，外加上人工，材料等成本相對(duì)于日本，歐美，我們更具優(yōu)勢(shì)。但是，我們并不是坐擁優(yōu)勢(shì)謀取暴利，而是將這部分省去的費(fèi)用直接回饋給廣大的客戶，讓每一個(gè)客戶買到價(jià)廉物美的產(chǎn)品，真正做到為客戶著想。

10多年的蝕刻經(jīng)驗(yàn)，完善的售后服務(wù)。
用心服務(wù)，一要“真心”、“誠心”，即服務(wù)要從心靈溝通開始。只有用真心、用真誠去傳情達(dá)意，才能使彼此的交流更為順暢、更為高效、更為精彩。每一次心靈的交流和理解，都將打破心與心之間的隔閡，縮短心與心之間的距離，為下一步更高境界的心靈之旅做好鋪墊。服務(wù)從心靈的溝通開始，是卓力達(dá)人對(duì)每一位客戶的誠摯承諾。
用心服務(wù)，二要“傾心”、“熱心”，即傾注全部心血和精力全心全意為用戶服務(wù)，實(shí)心實(shí)意替用戶著想。傾心、熱心服務(wù)，要求我們必須變被動(dòng)、生硬服務(wù)為主動(dòng)、微笑服務(wù)，使“我對(duì)用戶微笑”的同時(shí)，“用戶也對(duì)我微笑”；心為用戶所用，情為用戶所系；急用戶之所急，想用戶之所想；想于用戶未想之先，做于用戶未做之前。 
用心服務(wù)，三要“細(xì)心”、“耐心”，即細(xì)微處見真情，長期堅(jiān)持見功夫。優(yōu)質(zhì)服務(wù)就是要從小事做起，從點(diǎn)滴做起，“勿以善小而不為”。細(xì)致入微，把一切細(xì)小的方面和環(huán)節(jié)都想到、做到；不厭其煩，耐心做到用戶滿意為止。這樣，我們的服務(wù)就會(huì)盡善盡美，就不難與用戶建立起牢不可破、長期共榮的相互關(guān)系，從而引導(dǎo)需求，滿足需求。

    公司設(shè)立在江蘇省南通市，建筑面積40000多平方米，擁用現(xiàn)代化廠房以及一流的生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)、檢測(cè)設(shè)備。關(guān)鍵設(shè)備包括：進(jìn)口蝕刻生產(chǎn)線，恒溫恒濕無塵操作間，曝光機(jī)，顯影機(jī)，二次元測(cè)量儀，自動(dòng)脫膜生產(chǎn)線等。卓力達(dá)所有蒸鍍掩膜板出廠均經(jīng)過生產(chǎn)巡檢，品質(zhì)檢測(cè)，出庫核實(shí)，層層把關(guān)，品質(zhì)值得信賴！

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